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英特尔工场内的阿斯麦高数值孔径光刻机
网科技讯 北京期间2月25日，据路透社报说念，英特尔公司周一暗意，来自阿斯麦的前两台顶端光刻机也曾在其工场“插足坐蓐”。初步数据披露，它们比之前的型号更可靠。
这两台光刻机是阿斯麦的高数值孔径(High NA)极紫外光刻机，是现辞全国上最先进的光刻机，概况比之前的阿斯麦光刻机坐蓐出更小、更快的假想芯片。昨年，英特尔成为了行家首家收受这些光刻机的芯片制造商。
英特尔高等首席工程师史蒂夫·卡尔森(Steve Carson)在加州圣何塞举行的一场会议上暗意，英特尔已应用阿斯麦的高数值孔径光刻机在一个季度内坐蓐了3万片晶圆，这些晶圆不错产出数千颗假想芯片。
卡尔森指出，在初步测试中，阿斯麦新光刻机的可靠性是此前型号的约莫两倍。“咱们正以握续褂讪的速率坐蓐晶圆，这对制造平台来说是一个宏大福音。”他说。(作家/箫雨)
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